คำอธิบายผลิตภัณฑ์
ภายใต้เงื่อนไขระยะไกลผงซิลิกอนสามารถไนไตรด์ได้อย่างสมบูรณ์ในกระบวนการ SHS เพื่อสร้างซิลิกอนไนไตรด์และผลิตภัณฑ์มีปริมาณไนโตรเจนสูงและปริมาณออกซิเจนต่ำ แต่เป็นเฟส ในปฏิกิริยา SHS ของซิลิคอนจะต้องมีการเพิ่มปริมาณ Si _3 n _4 เมล็ด; ความเร็วในการแพร่กระจายของคลื่นการเผาไหม้ SHS ของซิลิคอนเพิ่มขึ้นเมื่อเพิ่มความดันไนโตรเจนและการลดลงของความหนาแน่นของสารตั้งต้นที่ลดลง แต่เป็นอิสระจากองค์ประกอบของสารตั้งต้นและเส้นผ่านศูนย์กลางตัวอย่าง อุณหภูมิคลื่นเผาไหม้เพิ่มขึ้นเมื่อเพิ่มความดันไนโตรเจนและการเพิ่มขึ้นของเส้นผ่านศูนย์กลางตัวอย่างซึ่งเป็นอิสระจากองค์ประกอบของสารตั้งต้นและความหนาแน่นของการเติม
พารามิเตอร์ผลิตภัณฑ์
| ระดับ | N | ศรี | แคลิฟอร์เนีย | o นาที | อัลมิน | C | FE MIN |
| si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.25 | 0.3 | 0.25 |
ภาพความร่วมมือผลิตภัณฑ์
1.ซิลิกอนไนไตรด์ฟิล์มถูกจัดทำขึ้นโดยใช้เทคโนโลยีการสะสมไอสารเคมีพลาสมา (PECVD) ภายใต้เงื่อนไขการสะสมที่แตกต่างกัน (ช่วงอุณหภูมิของสารตั้งต้น 20 ~ 180 องศาและพลังงาน RF 10 ~ 30W) และผลกระทบของเงื่อนไขการสะสมต่อคุณสมบัติและคุณสมบัติกันน้ำของฟิล์มซิลิกอนไนไตรด์ ผลการทดลองแสดงให้เห็นว่าด้วยการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิพื้นผิวความหนาแน่นดัชนีการหักเหของแสงและอัตราส่วน Si/N ของฟิล์มซิลิกอนไนไตรด์เพิ่มขึ้นตามลำดับในขณะที่อัตราการสะสมและเนื้อหา H ลดลงตามลำดับ ด้วยการเพิ่มขึ้นของพลังงาน RF อัตราการสะสมความหนาแน่นดัชนีการหักเหของแสงและอัตราส่วน Si/N ของฟิล์มซิลิกอนไนไตรด์เพิ่มขึ้นตามลำดับในขณะที่เนื้อหา H ลดลงตามลำดับ การทดลองการซึมผ่านของไอน้ำแสดงให้เห็นว่าแม้ว่าอุณหภูมิพื้นผิวจะลดลงเป็น 50 องศาฟิล์มซิลิกอนไนไตรด์ที่สะสมอยู่ยังคงมีประสิทธิภาพกันน้ำที่ดี ผลการทดลองแสดงให้เห็นว่าฟิล์มซิลิกอนไนไตรด์อุณหภูมิต่ำสามารถนำไปใช้กับบรรจุภัณฑ์ของอุปกรณ์เปล่งแสงอินทรีย์ (OLEDs) ได้อย่างมีประสิทธิภาพ
ป้ายกำกับยอดนิยม: ซิลิคอนไนไตรด์วัสดุระดับสูง, จีนวัสดุระดับสูงผู้ผลิตซิลิกอนไนไตรด์, ซัพพลายเออร์, โรงงาน