ซิลิคอนไนไตรด์โลหะระดับสูง

ซิลิกอนไนไตรด์ฟิล์มบางมีโครงสร้างที่หนาแน่นความแข็งแรงสูงและความต้านทานการสึกหรอที่ดีและสามารถใช้เป็นส่วนประกอบโครงสร้างในอุปกรณ์ MEMS โมดูลัสและความแข็งของฟิล์มซิลิกอนไนไตรด์ได้รับการทดสอบโดยวิธี PECVD และผลกระทบของอุณหภูมิการสะสมและอัตราส่วนการไหลของก๊าซปฏิกิริยาต่อโมดูลัสและความแข็งของภาพยนตร์ ฟิล์มซิลิกอนไนไตรด์ถูกใช้เป็นลำแสงช่วงล่างเพื่อสร้างสวิตช์ RF MEMS

1.ซิลิกอนไนไตรด์เซรามิกส์เป็นเซรามิกโครงสร้างที่อุณหภูมิสูงและมีความแข็งแรงสูงพร้อมโอกาสในการพัฒนาในวงกว้าง มันมีประสิทธิภาพสูง (เช่นความแข็งแรงสูงความเสถียรของการกระแทกความร้อนที่ดีความทนทานต่อความเหนื่อยล้าสูงความแข็งแรงในการโค้งงอสูงที่อุณหภูมิห้องความต้านทานการสึกหรอความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชันความต้านทานการกัดกร่อน ฯลฯ ) และถูกนำมาใช้อย่างกว้างขวางในทุกชีวิตของชีวิต วิธีการเตรียมของซิลิกอนไนไตรด์ส่วนใหญ่รวมถึงปฏิกิริยาการเผา (RS), การเผาแรงดันร้อน (HPS), การเผาไหม้ความดันบรรยากาศ (PLS) และการเผาแรงดันลม (GPS) ในปัจจุบันปัญหาหลักคือผลิตภัณฑ์เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์มีความเหนียวต่ำและราคาสูง ในอนาคตมีความจำเป็นที่จะต้องปรับปรุงกระบวนการกัดการปั้นและการเผาและการผสมของซิลิกอนไนไตรด์และซิลิกอนคาร์ไบด์เพื่อพัฒนาเซรามิกซิลิกอนไนไตรด์ที่ดีขึ้น

ป้ายกำกับยอดนิยม: ซิลิคอนไนไตรด์โลหะระดับสูง, จีนผู้ผลิตซิลิกอนไนไตรด์ระดับสูง, ซัพพลายเออร์, โรงงาน, โรงงาน